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ノベリオンシステムズ株式会社

ニーズ:
プロダクト(製品)共同開発
リソース提供(既存技術の提供・特許流用の検討など)
販売パートナー募集(チャネル拡大・エンゲージメント向上)
事業提携
プロジェクト・イベント型(期間限定)での協業
新市場の模索
更新日:2017/03/06

自社特徴

当社の強みは、次の2点となります。まず、高度な電磁界シミュレーションおよび計測環境を整え、部品一品一品まで最適化し、極めて強力かつコンパクトなプラズマ源に仕上げていることです。そして、当社協力工場にて精密加工された全ての部品は、当社の清浄な環境で組み立てられ、高い品質を保っていることとなります。その結果、当社の製品は国立研究所や大手半導体製造装置メーカーに、ご採用いただいております。

提供リソース

  • ・当社の【モジュール型ECRプラズマ源】は、接ガス部に消耗する部品を持たず、酸素やハロゲン等の活性雰囲気においても半永久的に動作させることが可能です。また、この【モジュール型ECRプラズマ源】からは高密度のプラズマが滞留なく拡散しますので、大型真空容器の空きポートに取り付けるだけで、容易に大規模処理装置を構成することが可能です。現在は、半導体製造装置分野をはじめ微細加工分野や粒子線治療分野から、様々なお引き合いをいただいております。
  • ECRラインビームイオン源
  • 高出力ECRプラズマ源
  • 小型ECR原子ビーム源

本掲載に関する責任者(オープンイノベーター)

代表取締役

前野 修一

企業情報

企業名
ノベリオンシステムズ株式会社
事業内容
当社主力事業は、プラズマを用いた表面改質装置や微細加工装置向けに、高密度かつ低不純物のプラズマ発生装置の開発です。この度、ユーザー様に高度な運転技術やノウハウを求めない【モジュール型ECRプラズマ源】を実用化しました。また、【モジュール型ECRプラズマ源】を適用した各種プラズマ装置もオーダーメイドいたします。
所在地
京都府京田辺市興戸地蔵谷1同志社大学業成館201
設立年月日
2006
企業URL
http://www.novelion-sys.com
従業員数
〜10人未満
資本金
5百万円〜1千万円未満